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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
Thermionics 旋轉電子槍 蒸發源 真空組件
HCR系列旋轉電子槍是一種全金屬密封的電子槍，有3到8個坩堝版本，最多可連續沉積8種以上的材料。標準安裝在外徑為12英寸的CF法蘭上，包括自動分度器和所有機械和電氣連接。
HCR系列旋轉電子槍主要特征：
可提供3至8個坩堝
270°光束偏轉
多坩堝，旋轉設計
可互換坩堝組件
長壽命發射器組件
易于更換燈絲
永磁梁定位
整體式掃掠線圈
提供底部或側面驅動
| Feature | Specifications |
| 最大功率 | 10 kW |
| 發射電壓 | -6 to -10 kV |
| 發射電流 | 0 to 1 A |
| 燈絲 | 700 W |
| 電子束偏轉 | 270° |
| 光束光斑尺寸 | .25″ diameter, tight beam |
| 蒸發率 | 1 gram/min @ 10 kW 36,000 ?/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance |
| X and Y 掃描 | Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller |
| 水 | 3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential |
| 坩堝材質 | OFE copper |
| 烘烤溫度 | 120°C (250°F) |
HCR系列旋轉電子槍安裝配置
每個e-Gun 都有三種標準安裝配置：
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上，該法蘭使用標準OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座，通過直徑為1"的孔安裝，并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨使用，無安裝法蘭
請在下單時安裝配置；成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。
Thermionics 旋轉電子槍 蒸發源 真空組件
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